FH413A05 MEMS三軸加速度傳感器

一、簡介

FH413A05 三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有 BIMOS 信號限制電路。設計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術。具有低功耗、高可靠性和高封裝堅固性，并具自檢測（Self-Test）等功能，可實現自檢測。

本產品可用于汽車測控、慣性導航、飛行器安全系統、地震監控、 傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統中。

二、原理

FH413A05三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS 多硅結構。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結構，并提供一個克 服加速度感應力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質塊 相連的中央板形成的差動電容器機構來測量比例于加速度的多硅結 構的偏轉，從而產生電壓輸出信號。

三、技術條件

 

性能	FH413A性能
	Ax ，Ay ，Az
測量范圍（ g）	±2	±4	±5	± 10	±20	±40
靈敏度（mV/g）	1000±50	500±50	400±30	200±20	100±10	50±5
帶寬（10%，Hz）	0～500
零 g 偏置電壓（V）	2.5±0.05
滿量程輸出（V）	0.5-4.5
零偏溫度變化（mg/ °C）	±0.2~ ±0.8
交叉軸影響（%）	≤2
非線性度(％F.S)	≤0.1
噪聲密度（ug/ √Hz）	20~80
供電要求
供電電壓(VDC)	12±0.5
輸入電流（mA）	≤20
工作環境

 

 

使用溫度（。C）	-45～+85
抗沖擊（ g）	5000
重量、體積
重量(g)	≤20
體積（mm3 )	21.6×21.6×12.4

四、接線端子定義

 

引線號	1	2	3	4	5	6
顏色	紅	黑	藍	黃	白	屏蔽
定義	12v	GND	Ax	Ay	Az	殼體地